nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置

更新時間：2025-07-26

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NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置是一種專門用于半導體制造和納米技術(shù)領(lǐng)域中，從硅晶片表面和側(cè)面回收微量金屬污染物的設備。以下是關(guān)于該裝置的詳細介紹：

自動化操作：設備可以自動完成采樣液的供給、支架具的裝卸以及采樣液的回收，從而減少操作員引起的污染。
多種采樣模式：通過與計算機聯(lián)機，可選擇豐富多樣的采樣模式，包括圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧等，還能對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
適用性廣泛：對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
減少人為污染：采樣操作由設備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
自動清洗功能：具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風險，并減少工作人員之間分析準確性的差異。

主要應用于半導體制造過程中，對硅晶片進行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析。適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境，如半導體制造廠、材料研究機構(gòu)等。

表格

設備名稱	SC-3100	SC-8150	SC-9100	SC-9200
操作控制	電腦	手動	自動	自動
支架具的裝/卸	自動	手動	自動	自動
采樣液的供給	自動	手動	自動	自動
采樣液的回收	自動	手動	自動	自動
采樣基本模式	圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧	-	-	-
采樣追加模式	端面、弧形、長方形	-	-	-
晶圓排片	對圓環(huán)形、固定半徑、端面采樣模式有追加項	-	-	-
吸取式采樣	〇	-	〇	〇
親水面采樣	-	〇	〇	〇
外形尺寸(WxDxH)(mm)	600×494×600	600×494×700	600×494×790	690×550×790
重量	35Kg	40Kg	50Kg	55Kg
安裝環(huán)境	無塵通風柜內(nèi)	-	-	-
所需外部資源	電源(100～240VAC)、純凈水、干潔氣源	電源(100～240VAC)、N2、干潔氣源	電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源	電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源

NASGiken的簡易微量金屬污染物回收裝置以其高效的污染物收集能力、自動化操作和技術(shù)，為半導體制造領(lǐng)域提供了一種創(chuàng)新的解決方案。

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